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本实用新型公开了一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于包括：主槽（１）、副槽（２）和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵（３），所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀（４），外槽底部分...该专利属于深圳市捷佳创精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳创精密设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于包括：主槽（１）、副槽（２）和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵（３），所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀（４），外槽底部分...