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本发明提供了一种有效运作电子装置制造系统的方法与设备。根据一个方面，提供了一种电子装置制造系统，包括：处理工具；处理工具控制器，其连接至该处理工具，其中该处理工具控制器用以控制该处理工具；第一次晶圆厂辅助系统，其连接至该处理工具控制器；其中...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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