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本发明公开了基板支撑单元、基板处理装置以及制造基板支撑单元的方法。基板支撑单元包括：基座（１２），该基座（１２）配备有用于对放置在所述基座上的基板进行加热的加热器（１５ａ，１６ｂ），并且包括第一温度区域和温度比第一温度区域高的第二温度区域；...
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