下载连续真空镀膜装置的技术资料

文档序号:4858420

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本实用新型为一种连续真空镀膜装置,包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室,相邻的两室之间通过真空锁相连,在每个室的室壁上安装有分子泵,还设有用于承载和传输工件的传输机构。本实用新型中的多个室及镀膜室是独立并通过...
该专利属于深圳森丰真空镀膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳森丰真空镀膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司授权不得商用。

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