下载一种镭射装置的技术资料

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一种镭射装置,用以切割包含导电膜及基板的面板,镭射装置包含预切割镭射模块、加热镭射模块、光形调制镜组及温度梯度控制模块。预切割镭射模块用以产生具平头波的预切割激光束并沿切割方向移动,而切割导电膜及基板;加热镭射模块用以产生加热激光束,于预切...
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