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清洁电容耦合等离子体反应器电极并减少表面粗糙度，以便清洁过的电极满足表面污染物规范并提高产量的系统而有效的方法。预清洁该清洁过程中使用的工具有助于防止待清洁电极的污染。...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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