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本公开提供一种反射率测试系统及反射率对比验证方法，系统包括：沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器。反射...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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