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一种用于在光刻设备中使用的表膜，所述表膜包括：隔膜，所述隔膜具有第一部分和第二部分；以及保护部分，所述保护部分在所述隔膜的至少一侧上位于所述第二部分处。一种用于形成用于在光刻设备中使用的表膜的方法，所述方法包括：提供隔膜，所述隔膜具有第一部...
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