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本发明公开了一种带电粒子显微镜系统，该带电粒子显微镜系统包括：电子源，该电子源容纳维纳尔电极和阴极，其中该电子源可包括可基本上无水的干燥环境，该干燥环境限定该维纳尔电极和该阴极之间的容积；束柱，该束柱包括多个电磁透镜元件；和真空室，该真空室...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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