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本发明涉及半导体芯片测试技术领域,具体公开一种高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置,包括:竖直滑轨,所述竖直滑轨的下端用于连接执行机构;水平直驱机构,所述水平直驱机构的驱动端与所述竖直滑轨连接,驱使所述竖直滑轨沿水平方向往复运动;水平滑...该专利属于广东金龙东创智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东金龙东创智能装备有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体芯片测试技术领域,具体公开一种高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置,包括:竖直滑轨,所述竖直滑轨的下端用于连接执行机构;水平直驱机构,所述水平直驱机构的驱动端与所述竖直滑轨连接,驱使所述竖直滑轨沿水平方向往复运动;水平滑...