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本发明涉及一种长金属氧化物管状靶材的烧结方法，该方法是在烧结炉中放置承烧板，该承烧板开有中心气孔和环形透气孔，在承烧板上放置环形围挡，在中心气孔与透气孔之间的承烧板上铺一层小球，将管状靶材坯体立放在小球之上，将套管套在管状靶材坯体的外侧并立...
该专利属于广西晶联光电材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西晶联光电材料有限责任公司授权不得商用。

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