下载空气折射率自修正三频激光干涉仪及波前像差检测方法的技术资料

文档序号:44916845

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本发明公开了一种空气折射率自修正三频激光干涉仪及其干涉检测方法,解决了对于大口径光学系统的波前像差检测方法,耗时长、测量成本高的问题。本发明提供的一种空气折射率自修正三频激光干涉仪及其干涉检测方法,分别计量一倍频激光、二倍频激光及四倍频激光...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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