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本申请属于半导体技术领域，具体公开了一种基于图神经网络的光刻热点检测方法及系统。方法包括：将版图中的每个多边形金属采用水平方向扫描分解为矩形，视作图的结点；根据特定规则在矩形之间添加内部边和外部边；以矩形的对角顶点坐标作为结点特征，以矩形之...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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