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本发明提供硅微粒子的制备方法及通过该方法制备的硅微粒子，所述方法包括：使硅烷气体混合物流入反应器内的步骤；以及在所述反应器中分解所述硅烷气体混合物来制备硅微粒子的步骤，所述硅烷气体混合物包含第一硅烷气体及第二硅烷气体，所述第一硅烷气体的分解...
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