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本发明提供一种能够抑制气体的状态的变化的技术。具有：处理基板的处理室；向所述处理室供给气体且具有缓冲空间的缓冲室；经由所述缓冲室向所述处理室供给气体的气体供给部；加热所述缓冲空间的加热部；能够测定所述缓冲空间的压力的压力测定部；以及控制部，...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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