下载一种长波红外带通滤光片制备方法的技术资料

文档序号:44883489

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本发明公开了一种长波红外带通滤光片制备方法,所述方法包括以下步骤:将基底放置到镀膜机真空腔室内对基底进行加热;抽真空至2×10E‑3Pa以下;通过物理气相沉积方法在基底的两侧分别向外交替叠加镀上80层高折射率膜层和低折射率膜层形成主膜系和1...
该专利属于上海欧菲尔光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海欧菲尔光电技术有限公司授权不得商用。

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