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本发明公开了一种低电阻透明导电薄膜及其制备方法,涉及ITO薄膜材料技术领域,所述制备方法包括以下步骤:S1:于室温条件下通过磁控溅射法在基底表面形成ITO薄膜;S2:将所述ITO膜层进行梯度冷冻处理,后恢复至室温,得到第一ITO薄膜;S3:...该专利属于安徽点宇新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽点宇新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种低电阻透明导电薄膜及其制备方法,涉及ITO薄膜材料技术领域,所述制备方法包括以下步骤:S1:于室温条件下通过磁控溅射法在基底表面形成ITO薄膜;S2:将所述ITO膜层进行梯度冷冻处理,后恢复至室温,得到第一ITO薄膜;S3:...