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本技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种三自由度取料机械手，旨在缓解相关技术中取料臂或机械手吸附晶圆效果不理想的技术问题。该三自由度取料机械手包括取料臂机构，取料臂机构包括陶瓷臂和O型圈；陶瓷臂呈板状，其内部设有第一真空腔道，其前端头的顶壁上设...
该专利属于迈为技术（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈为技术（珠海）有限公司授权不得商用。

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