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本发明涉及一种冷却盘体及其制备方法,所述冷却盘体包括流道主体以及与流道主体配套设置的盖板;所述流道主体设置有第一螺旋流道与第二螺旋流道,所述第一螺旋流道与第二螺旋流道间隔盘绕设置,第一螺旋流道与第二螺旋流道的首端互相独立,末端互相连通;所述...该专利属于上海睿昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海睿昇半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种冷却盘体及其制备方法,所述冷却盘体包括流道主体以及与流道主体配套设置的盖板;所述流道主体设置有第一螺旋流道与第二螺旋流道,所述第一螺旋流道与第二螺旋流道间隔盘绕设置,第一螺旋流道与第二螺旋流道的首端互相独立,末端互相连通;所述...