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本发明提供一种表面处理装置，其能够在使表面处理槽内保持真空状态的同时，使收纳在该表面处理槽内的作业机构上下移动，并使作业机构旋转或摆动等。上述表面处理装置包括：耐压槽（１），其内部能够成为真空状态；筒形的耐压外壳（７），其插入在上述耐压槽内...
该专利属于日本原野株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本原野株式会社授权不得商用。

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