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本发明公开了一种冠醚型表面活性剂及其制备方法、光刻胶显影液,属于光刻胶技术领域,本发明中的冠醚型表面活性剂通过分子间苯环的π‑π作用,与光刻胶分子结合得更加紧密,使显影液更容易均匀覆盖在底片表面,确保显影的均匀性,从而保证图案精度,光刻胶显...该专利属于合肥中聚和成电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥中聚和成电子材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种冠醚型表面活性剂及其制备方法、光刻胶显影液,属于光刻胶技术领域,本发明中的冠醚型表面活性剂通过分子间苯环的π‑π作用,与光刻胶分子结合得更加紧密,使显影液更容易均匀覆盖在底片表面,确保显影的均匀性,从而保证图案精度,光刻胶显...