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用于内衬钴的特征的铜电沉积序列制造技术
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下载用于内衬钴的特征的铜电沉积序列的技术资料
文档序号:44820642
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在一示例中,电镀系统包括第一浴槽、第二浴槽、夹具、第一浴槽中的第一阳极、第二浴槽中的第二阳极和直流电源。第一浴槽容纳第一电解质溶液,该第一电解质溶液包括碱性铜复合溶液。第二浴槽容纳第二电解质溶液,该第二电解质溶液包括酸性镀铜溶液。直流电源在...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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