下载一种晶体生长炉的技术资料

文档序号:44812464

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本发明涉及半导体晶体技术领域,具体公开了一种晶体生长炉,包括上腔体、中腔体和下腔体,上腔体中设有可升降的籽晶轴,上腔体中设有悬挂机构,悬挂机构上悬挂有若干个籽晶杆,上腔体中还设有用于将悬挂机构上的籽晶杆夹取与籽晶轴进行连接的夹取机构,中腔体...
该专利属于广州粤升半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州粤升半导体设备有限公司授权不得商用。

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