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本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种利用颗粒硅制备单晶硅的加料方法及其应用。所述的利用颗粒硅制备单晶硅的加料方法,包括以下步骤:在重复拉晶的第n批次加料及之后的每批次加料过程中,将若干桶颗粒硅连续投加在加热炉中后进行脱氢处理,投加所...该专利属于青海高景太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海高景太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种利用颗粒硅制备单晶硅的加料方法及其应用。所述的利用颗粒硅制备单晶硅的加料方法,包括以下步骤:在重复拉晶的第n批次加料及之后的每批次加料过程中,将若干桶颗粒硅连续投加在加热炉中后进行脱氢处理,投加所...