温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种基于集成制造系统的设备控制方法及集成制造系统，涉及控制技术领域，集成制造系统中包括制造执行系统和设备自动化系统，通过制造执行系统建立差异化取片规则的数据库，数据库中包括多种多腔室机台的差异化取片规则，每种多腔室机台的差异化取...
该专利属于格创东智（深圳）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格创东智（深圳）科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。