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本申请公开晶圆量测机台校正工装，包括蓝宝石晶圆片，所述蓝宝石晶圆片的直径为100mm，且所述蓝宝石晶圆片的单一平边的长度为34mm，所述蓝宝石晶圆片具有一定位表面，所述定位表面的中心位置设置有直径为1mm的圆形定位原点，所述定位原点的外侧以...
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