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本申请涉及一种石英坩埚的熔融设备参数调整方法,涉及半导体材料制备领域。该方法包括：获取石英坩埚多批次熔制过程中的观测过程参数，多过程观测特征矩阵；采用密度估计方法，确定多过程观测特征矩阵的概率密度分布，从B个批次中筛选出S个有效批次；根据有...
该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。

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