下载集成有自对准直接背侧接触的MRAM的技术资料

文档序号:44700539

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提供了一种背侧接触结构,其将位于晶片背侧的MRAM的第一电极(52)直接连接到晶体管的源极/漏极结构(36)。背侧接触与晶体管的源极/漏极结构(36)以及MRAM的第一电极(52)自对准。MRAM和源极/漏极结构(36)之间的紧密接近增加了...
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