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本技术涉及半导体晶圆技术领域，提供了一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置，包括中空转轴、驱动机构、传动机构、载盘，所述载盘上设有用于夹持晶圆的夹持机构；所述夹持机构包括多个滑动连接在载盘上的限位模块；所述多个限位模块沿中空转轴的轴线圆周阵列布置；所...
该专利属于广东长信精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东长信精密设备有限公司授权不得商用。

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