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本发明目的是测量对象长度时尽可能协调高分辨率或高图像质量与最低数据速率这两个实际上相互冲突的目标，有鉴于此，本发明提出一种通过光学相干断层扫描确定对象(6)长度的设备(1)，包括具有光源(2)、样本臂(4)和参考臂(5)的干涉仪，其中，光源...
该专利属于海德堡工程有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过海德堡工程有限责任公司授权不得商用。

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