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本公开涉及半导体技术领域，具体涉及一种排气管的温控装置及温控方法，解决了当半导体设备进行工艺时，由于排气管的温度过低，导致排气管堵塞的问题。排气管的温控装置包括加热组件、温度检测组件、冷却组件和控制组件。温度检测组件用于检测排气管的温度，加...
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