下载一种多晶硅生产尾气处理装置的技术资料

文档序号:44590813

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本技术涉及单晶硅生产相关,且公开了一种多晶硅生产尾气处理装置,包括冷凝组件;冷凝组件包括:换热器一,出料口设置有储罐一;氢压机,储罐一出料口与氢压机进料口相连接;换热器二,氢压机出料口与换热器二进料口相连接;储罐三,换热器二出料口与储罐三进...
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