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本技术提供了一种气体混合装置及半导体设备，包括：混气管和至少一个导气管，导气管设于混气管的侧壁上且延申至混气管内，位于混气管内部的导气管设有至少一个出气孔，出气孔的朝向与混气管内载气的流动方向一致。本技术气体混合装置结构简单、制造成本低、便...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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