下载一种提拉法小型晶体生长装置的技术资料

文档序号:44520924

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本发明公开了一种提拉法小型晶体生长装置,采用分体式的第一密封组件和第二密封组件,并将坩埚设置在第二密封组件上,第二密封组件可在第一直线模组的驱动下与第一密封组件对接/分离,通过在第一密封组件外侧套设有加热炉,当第二密封组件与第一密封组件对接...
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