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本申请提供一种晶圆载片架，涉及晶圆片生产技术领域。该晶圆载片架包括：晶圆片承载组件、滚动驱动组件和滚动上压组件。底部滚动支撑部安装在盒架内部底侧，盒架内部两侧设置有放置晶圆片的放置槽。固定支撑部安装在盒架侧部，转轴与固定支撑部转动设置，转轴...
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