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本技术公开了一种单晶炉用过滤装置。该单晶炉用过滤装置包括过滤本体和清灰单元；其中，所述清灰单元设置在所述过滤本体的底部；所述清灰单元内设置有积尘腔，所述积尘腔内设置有清扫设备，用于将灰尘清扫至过滤本体的过滤区中。本技术的单晶炉用过滤装置易于...
该专利属于双良硅材料（包头）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过双良硅材料（包头）有限公司授权不得商用。

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