下载一种单片集成激光器芯片及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:44433071

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本发明涉及激光芯片技术领域,具体涉及一种单片集成激光器芯片及其制备方法和应用。该方法包括以下步骤:在衬底上生长缓冲层材料,在激光器区、放大器区和调制器区上分别生长对应的有源材料后,覆盖第二介质掩膜,将二氧化硅材料覆盖在第二矩形介质掩膜和缓冲...
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