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公开了负载锁定组件、包括负载锁定组件的半导体处理系统以及用于调节负载锁定组件内的衬底温度的相关方法。负载锁定组件包括联接到升降机的温度控制组件，升降机配置为向负载锁定主体内的温度控制组件提供竖直运动。...
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