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本发明涉及基板处理装置用基板支撑组装体，包括：夹盘底座，当设置基板时，与基板相向配置，能够以旋转中心轴为中心进行旋转；夹盘销，突出配置在夹盘底座的上部，用于把持或分离基板；机构部，与夹盘销联动；以及驱动部，用于驱动机构部，机构部包括：第一工...
该专利属于得八益十意恩至所有，仅供学习研究参考，未经过得八益十意恩至授权不得商用。

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