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本发明公开了一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置及其辅助方法，涉及半导体制造技术领域，为解决现有的反应管安装时，由于其体积较大，安装难度较高，用户操作耗时耗力，安装起来较为不便的问题。包括移动车台，所述移动车台的下方设置有多个万向轮，所...
该专利属于鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司授权不得商用。

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