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用于制造压电或半导体结构的方法技术
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下载用于制造压电或半导体结构的方法的技术资料
文档序号:44388017
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本发明涉及一种用于制造压电或半导体结构的方法,其包括以下连续步骤:(a)提供供体衬底(11),其包括压电或半导体层(5),(b)提供受体衬底(12),(c)处理该供体衬底(11)的自由表面(7)和/或该受体衬底(12)的自由表面(9),(d...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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