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本技术提出了一种涂层设备的靶材供料机构，涉及靶材供料领域，座体的底端同轴安装有斜齿轮B，且斜齿轮B与设置在电机输出轴上的斜齿轮A相啮合传动，解决了现有技术中的多采用人工手动填料以及取料的结构，使得人工在将靶材供入到涂层设备的内部时，很容易与...
该专利属于斯锐德精密刀具（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯锐德精密刀具（浙江）有限公司授权不得商用。

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