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本发明提供了一种晶圆干燥装置，其包括用于承载晶圆的承载平台；位于所述承载平台内的金属发热件；磁铁平台，所述磁铁平台与所述承载平台沿高度方向间隔设置，所述磁铁平台内设置有若干永磁铁，相邻两个所述永磁铁的磁极相反；用于带动所述承载平台或所述磁铁...
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