下载一种基于复杂线型渐变结构的宽带集成偏振旋转分束器的技术资料

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本发明公开了一种基于复杂线型渐变结构的宽带集成偏振旋转分束器,属于集成光学器件技术领域,包括衬底层和介质波导层;在所述衬底层和介质波导层之间设置有埋氧层,在所述介质波导层的上表面和两侧设置有上包层:沿着光波传输方向,在所述介质波导层内刻蚀有...
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