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半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备技术
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文档序号:44218909
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本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备,该方法包括:形成有源结构;基于第一有源结构,形成第一晶体管的第一伪栅结构;倒片并减薄衬底;基于第二有源结构,形成第二晶体管的第二伪栅结构;刻蚀预设高度的位于第二晶体管的第二源漏区域...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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