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本发明涉及外延控制技术领域，具体涉及一种外延设备中的多层薄膜生长控制系统及方法，包括监测模块、阈值存储模块、处理模块、温度控制模块和气体控制模块，监测模块、阈值存储模块、在对外延设备中的多层薄膜生长控制时，通过对外延设备上的多个检测点进行检...
该专利属于桂林雷光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桂林雷光科技有限公司授权不得商用。

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