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本发明公开了一种抗蚀剂清洗设备及清洗方法，包括设备主体；水槽；输送单元；过滤单元；所述过滤单元包括对称设置的支撑环；过滤网，固定设置于支撑环的外壁，在对称设置的支撑环之间形成过滤通道；过滤网具有多个闭环结构；所述闭环结构由顺次相接的四个杆部...
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