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本技术涉及涂布机及涂布机配件技术领域，具体涉及一种异形平板涂布治具，包括：底座；涂布载台，设置在底座的顶部，适于放置晶硅片；定位机构，包括四组定位模块，四组定位模块分别位于涂布载台的四周，且每组定位模块均沿垂直于涂布载台侧壁的方向滑动连接在...
该专利属于深圳市曼恩斯特科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市曼恩斯特科技股份有限公司授权不得商用。

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