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本发明涉及原子层沉积技术领域，特别是涉及一种用于原子层沉积的喷头组件，包括集成板，集成板的上侧固定安装有安装罩，集成板的侧面等距交错设置有引流机构，安装罩的侧面等距交错设置有驱动机构，引流机构包括第一通道、第二通道和第三通道。本发明通过设置...
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