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本技术提供一种半导体工艺设备，包括底座、工艺管、进气管、第一转接部件和第二转接部件，工艺管竖向设置在底座上，进气管竖向设置在工艺管内，用于向工艺管内输送工艺气体，第一转接部件和第二转接部件为可拆卸连接的分体结构，第一转接部件的至少部分竖向设...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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